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作者:911香蕉小视频清洗机发表时间:2023-05-17 09:49:16浏览量:877【小中大】
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一、 调整合适的频率:
频率越高,氧越易电离构成911香蕉小视频体。频率太高,以致电子振幅比其平均自由程还短,则电子与气体分子磕碰概率反而减少,使电离率降低。通常常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。
二、 调整合适功率:
关于必定量的气体,功率大,911香蕉小视频体中的的活性粒子密度也大,去胶速度也快;但当功率增大到必定值,反响所能耗费的活性离子到达饱满,功率再大,去胶速度则无显着添加。由于功率大,基片温度高,所以应根据技术需求调理功率。
三、 调整适合的真空度:
恰当的真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场取得的能量就大,有利电离。别的当氧气流量必守时,真空度越高,则氧的相对份额就大,发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。
四、 氧气流量的调整:
氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加速;但流量太大,则离子的复合概率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而降低。若反响室压力不变,流量增大,则被抽出的气体量也添加,其间尚没参与反响的活性粒子抽出量也随之添加, 因而流量添加对去胶速率的影响也就不甚显着。
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